荷蘭政府拒發ASML輸中設備許可 擔心被用於軍事

艾司摩尔(ASML)员工正在费尔德霍温(Veldhoven)厂内组装公司的微影设备。路透

荷兰贸易部长范吕文(Geoffrey van Leeuwen)最近在国会答询时表示,荷兰政府因为担心艾司摩尔(ASML)生产的晶片制造设备可能会被中国大陆用于军事目的,决定拒绝核发艾司摩尔出口许可。

总部位于荷兰的艾司摩尔,是欧洲最大的科技公司,独霸全球晶片制造微影设备市场。

路透报导,看到范吕文在一份日期注为2月5日的报告中写道:「中国重视外国专业技术,包括荷兰在微影领域的专业技术,以便在军事技术发展过程中提高自给自足比率。」他表示,艾司摩尔的微影设备被用于制造先进半导体,而这些半导体可能会被用于「高价值武器系统和大规模杀伤性武器」,因此,荷兰政府在审查发放出口许可决定时,会重点考虑「不适宜的最终用途」这类风险。

基于美国压力,荷兰政府去年对艾司摩尔的中阶机种、深紫外光(DUV)微影设备出口增加了需要申请许可的要求。艾司摩尔最先进的微影设备,则从未出售给中国大陆。

荷兰国会质询记录显示,改革派议员Femke Zeedijk质问,为什么政府最初批准,却又很快收回了艾司摩尔出口给中国大陆客户的许可。范吕文回避直接回答,只说,自去年9月增加许可要求以来,「已批准了几项对中国出口先进半导体设备的许可」。他表示,预期今年总共会有约20件此类申请案,但没有具体说明有几件是要销售到中国大陆的申请案。

根据国际半导体产业协会(SEMI)的预测,今年将有约18家中国晶片厂投产,数量超过全球其他任何地区。许多中国晶片厂正专注于成熟制程晶片,使用不在荷兰出口管制政策范围内的制造设备。

艾司摩尔上月表示,继2023年的卓越表现之后,预计2024年对中国大陆的销售将保持「稳健」。遵守根据荷兰政府的许可制度,预计不会向中国大陆出口较先进的微影设备。另外基于美国政府的限制,将无法向「少数」中国工厂出口公司的NXT:1970和NXT:1980i系列产品。