荷阻ASML光刻机输陆 撤销部分出口许可

荷兰决定撤回半导体设备龙头艾司摩尔对中国出口部分产品的许可证。图为2023年中国国际进口博览会中艾司摩尔的展场。(中新社)

荷兰贸易部长范李文(Geoffrey van Leeuwen)近日在国会应询表示,由于担心荷兰半导体设备龙头艾司摩尔(ASML)的电脑晶片设备将被用于中国军事目的,最近决定撤回艾司摩尔对中国大陆出口部分产品的许可证。

路透报导,范李文在2月5日的报告中写道:「中国着眼外国专业技术,包括荷兰在微影制程领域的专业知识,以促进其在军事技术发展自给自足。」

范李文说,艾司摩尔的设备被用于制造可用于「高价值武器系统和大规模杀伤性武器」的先进半导体,荷兰政府在审查出口许可的决定时,会聚焦于「不良最终用途的风险」。

报导称,在美国施压下,荷兰政府去年要求艾司摩尔出口中阶「深紫外光刻机」(DUV)设备前必须申请许可。艾司摩尔最先进光刻机从未卖给中国过。

荷兰改革派「新社会契约党」(NSC)议员泽迪克(Femke Zeedijk)在国会质询,为何政府起初会授予艾司摩尔向中国未公开的客户出口多种设备的许可证,后来却又迅速撤回。

范李文的回答回避了这个问题,仅补充说,自去年9月引进相关许可证规定以来,已多次批准向中国出口先进半导体设备的许可证。而今年预计将接获约20起这类申请,但范李文未具体说明这些申请有多少来自中国大陆,也未回应荷兰是否应美国政府要求而撤销这些许可证。

泽迪克20日跟路透说:「我不是说不存在安全问题,或这项决定是错的,但我想了解更多资讯。外界认为,除了安全风险之外,背后还有经济原因。」

国际半导体产业协会(SEMI)预测,今年将有约18家中国晶片工厂投产,数量超过任何其他地理区域。许多中国晶片制造商正专注于生产旧世代晶片,并使用不受出口管制政策约束的设备。

艾司摩尔今年元旦曾证实,荷兰政府已撤销部分向中国出口晶片制造设备的许可证,但预计2024年对中国的销售仍将保持「稳健」。不过根据相关规定,公司不会向中国出口任何NXT:2000i或更先进工具,且由于美国相关限制措施,公司也无法向「少数」中国厂商出口NXT:1970和 NXT:1980i产品线。