ASML的部分DUV出口許可證遭撤銷 台股檢測股影響有限

美中科技战持续延烧，半导体设备大厂ASML宣布，荷兰政府近期撤销部分DUV出口许可证，市场预期将重挫陆企想靠DUV设备延伸先进制程的计划，而大型法人机构认为，此举仍有利闳康（3587）与泛铨（6830）的中国MA检测生意。

大型法人机构指出，目前ASML在售的浸润式DUV微影设备主要有四大型号，包括TWINSCANNXT:2100i、NXT:2050i、NXT:2000i和NXT:1980Di，原先ASML TWINSCAN NXT:2100i、2050i、2000i虽在禁止之列，但拿到出口许可证后，仍可持续出口中国。

受益于中国客户的积极提货，ASML来自中国的营收占比由去年第2季的24%，倍增至第3季的46% ，而本次的最新禁令，荷兰政府撤销部分2023年NXT:2050i及NXT:2100i DUV微影系统的出口许可证，预期将影响AMSL对中国销售额的15~20%。

形式上来看，中美贸易战又再度紧缩对中国半导体发展，但实质上仍预留了一条精算过后的后路，虽然中高阶DUV设备出口再度受限，但是中低阶的NXT:2000i、1980系列仍可出口中国，目前中芯、长江存储、华力集团等都有大量采用NXT:1980系列机种，NXT:1980系列仍可透过二至三次多重曝光，达到模拟7nm先进工艺。

虽此土法炼钢方式在成本、良率、效能表现较差，换言之中国半导体自制的大趋势并未因荷兰政府的新声明而改变，此举仍有利闳康与泛铨的中国MA检测生意。