《国际产业》美方拦腰杀出 ASML:已暂停部分DUV对中国出口

该总部位于荷兰Veldhoven市的公司说,影响出货的包括部分微影机系统。艾司摩尔说:「荷兰政府最近撤销了NXT:2050i和NXT:2100i微影系统在2023年出货的出口许可证,影响到少数的中国客户」。

据了解,美国在2023年10月17日公布的新规定,主要是限制了部分DUV深紫外光微影设备的出口。而美方早在2019年限制了EUV设备的出口,现在进一步限制部分DUV设备的对中输出。

艾司摩尔的微影系统,使用了雷测光来创造晶片的电路。

该公司还说,预计最新的撤销或者美国的出口管制措施,不会对公司2023年财务前景产生重大影响。

中国在近年来一直是艾司摩尔第三大市场,仅次于台湾和南韩。不过在2023年第三季,中国曾短暂跃居艾司摩尔第一大市场,占公司总销售额的46%,主要是中国半导体公司当时赶在管制生效之前,加速购入了艾司摩尔的DUV设备。

美国在2023年宣布了新管制规定,限制了艾司摩尔的「Twinscan NXT1930Di」机器的出口,如果它包含任何美国的零组件。

很快的,数名荷兰国会议员随后对荷兰贸易部提出质疑,认为美国单方面规范了艾司摩尔制造机器对中国出口的规定,是否正确。

艾司摩尔在最新一份声明中说:「最近在与美国政府的讨论中,艾司摩尔获得了美国出口管制法规范围和影响的进一步澄清」,「艾司摩尔完全致力于遵守所有适用的法律和规定,包括我们营运所在国家(美国)的出口管制法规」。