部分高阶DUV出口许可证吊销！ASML：少数中国客户受影响

虽然ASML的DUV光刻机出口许可证突然遭到撤销，但是中国客户订单基本都已完成交付。（图／ASML）

针对媒体报导光刻机大厂ASML部份高阶DUV光刻机出口许可证在12月31日到期前被吊销一事，ASML发表声明称，部份NXT:2050i和NXT:2100i许可证被吊销影响到少数中国客户。2024年1月1日起，ASML已不太可能再获得向中国国内客户运送这些系统的出口许可证。

据《快科技》报导，外媒引述知情人士称，在相关许可证到期之前几周，荷兰政府就应美国政府的要求，吊销了部分高阶DUV光刻机的对华出口许可证。

ASML发声明表示，「在最近与美国政府的讨论中，ASML获得了美国出口管制法规的范围和影响的进一步明确。美国最新出口规则（2023年10月17日发布）对有限数量的先进生产设施的某些关键的浸润式DUV光刻系统施加了限制。」

ASML强调，「我们完全致力于遵守所有适用的法律和法规，包括我们经营所在国家的出口管制立法。」

报导指出，2023年9月1日，荷兰政府在6月底颁布的有关先进半导体设备的额外出口管制新条例正式生效，其中包括先进的沉积设备和浸润式光刻系统。ASML公司当时就曾表示，尽管出口限制从9月开始生效，但该公司现有的许可证仍能够允许其在2023年底前继续将NXT:2000i 和更先进的DUV光刻机运送到中国。

需要厘清的是，报导说，ASML在2023年四季度出货的设备，多数在2022年底或2023年初就已取得了许可。ASML在2023年中的交货周期大约18个月，意味着2023年第四季出货的设备，应该是在2022年2季度或3季度就已经下了订单。

2024年10月17日，美国商务部工业与安全局（BIS）又发布多项规则，更新并扩大了2022年10月7日发布的对先进半导体及其制造设备实施的一系列严格的出口管制措施等。ASML表示，「我们的客户了解出口管制法规，因此他们知道，自 2024 年 1 月 1 日起，我们不太可能获得向中国国内客户运送这些系统的出口许可证。」

报导说，随着荷兰政府部分吊销了2023年发货NXT:2050i和NXT:2100i光刻系统的许可证，这也意味着ASML在数周之前就已经无法继续向中国客户交付此前尚未完成交付的相关高阶DUV光刻机订单。

不过ASML仍在声明中表示，目前出口许可证的撤销或美国最新的出口管制限制不会对其2023年的财务前景产生重大影响。