《国际产业》ASML证实中芯采购DUV设备
半导体设备制造商艾司摩尔周三宣布,已经延长与中芯国际的设备订购合约,至今年底到期。
中芯国际于周三稍早发表声明,揭露了一项采购协定,称已支付艾司摩尔12亿美元的工具设备采购。
艾司摩尔于周三稍晚发出声明稿,表示该协定始于2018年,原定2020年底到期,然双方于二月达成新协议,将期限延长至2021年底。
艾司摩尔周三的声明表示,与中芯国际的批量采购协议是关联到名为深紫外光刻机(DUV)较旧的技术。艾司摩尔执行长Wennik先前于一月曾表示,如果公司能将较旧技术卖给中国,对公司将有极大获益。艾司摩尔去年140亿美元营收,有17%来自中国。
艾司摩尔为全球用于制造晶片的光刻机设备最大的供应商,其生产的极紫外光刻机(EUV)为制造先进晶片关键性的生产工具。
美国商务部则于去年12月将中芯国际列入贸易黑名单,要求美系半导体设备供应商在供货中芯国际之前,需事先获得商务部准许。
然而美国对中芯的抵制,为早于商务部的正式规定。美前总统川普的行政团队早于2019年已经开始对艾司摩尔施压,要求荷兰官员取消对中国的EUV销售许可;根据目前的纪录,荷兰官方至今仍未批准任何对中国的EUV销售。