EUV热 家登2021接单大爆发

家登季度营收表现及预估一览

家登精密董事长邱铭干 图/本报资料照片

微影设备大厂艾司摩尔(ASML)的极紫外光(EUV)曝光机在12月中完成第100台设备出货,预估2021年EUV曝光机产能可达45~50台规模代表设备出货进入高速成长阶段

由于台积电、三星英特尔、SK海力士半导体大厂均全力布建EUV生产线法人看好家登(3680)极紫外光光罩盒(EUV Pod)2021年接单大爆发,出货量估年增2~3倍,营收及获利大跃进

家登11月合并营收月减12.2%达1.67亿元,较去年同期减少35.2%,累计前11个月合并营收21.46亿元,较去年同期成长2.4%。家登对第四季营运抱持乐观看法,EUV Pod需求强劲,法人看好12月营收将有明显回升,第四季营收应可优于第三季。

半导体制程跟随摩尔定律持续微缩,EUV微影技术成为关键。以逻辑制程来看,台积电及三星晶圆代工的5奈米制程已量产,平均每片晶圆的EUV光罩层达10~14层,与采用EUV的7奈米相较增加一倍,至于3奈米EUV光罩层将提升至20层以上,对EUV Pod需求量呈现等比级数成长。

至于英特尔支援EUV技术的7奈米已试产并加速进行良率提升,预期2022年之后将导入量产。设备业者预估,英特尔7奈米EUV光罩层可望逐步接近晶圆代工厂的5奈米水准,英特尔的5奈米采用的EUV光罩层将会与晶圆代工厂3奈米相当,这也是为何英特尔现阶段已积极巩固EUV Pod供货产能的原因

三星及SK海力士已开始扩建采用EUV技术的DRAM产线,美光虽然还未表态但已开始招兵买马预作准备。据业界消息韩系记忆体厂第一代EUV的DRAM制程约采用2层EUV光罩层,但第二代将增加至4层。由于DRAM厂投片规模庞大,单一厂区的月投片量高达20~30万片,若全数转成EUV技术则对EUV Pod的总需求量并不输给晶圆代工厂。

艾司摩尔2020年EUV设备产能可支援35台出货量,12月中欢庆第100台EUV曝光机正式出货,2021年产能将提升至45~50台,包括台积电、三星、英特尔等半导体大厂都积极建置EUV产能及备品供应链

由于全球EUV Pod只有家登及英特格(Entegris)两家供应商获得艾司摩尔及各半导体厂认证,且家登与英特格和解后的市占率已明显拉升,2021年接单大爆发且订单能见度看到年底,来自晶圆代工厂、IDM厂、记忆体厂的订单都较2020年增加逾一倍。