ASML限縮出貨 陸企早有準備 囤積DUV機台

ASML发出声明指出，荷兰政府近期撤销部分2023年NXT:2050i及NXT:2100i微影系统之出口许可证，对少数位于中国的客户产生影响。图为ASML的组装工程师日前正在进行设备组装作业。（路透）

全球半导体显影设备龙头艾司摩尔（ASML）应拜登政府要求，提前取消部分用于半导体成熟制程的深紫外光（DUV）设备出货大陆，市场原本期盼，陆企无法取得关键机台后，能舒缓成熟制程供过于求压力，惟业界分析，陆企早已大举囤积DUV机台，美国新政恐难扭转成熟制程产能过剩问题。

这意味联电、世界先进、力积电等以成熟制程为主力的台湾晶圆代工业者，迈入2024年仍难甩开与陆企竞争压力，随着供过于求问题延续，后续报价恐同步承压。

大陆科技媒体《芯智讯》报导， 根据大陆海关数据显示，2023年10月，大陆从荷兰进口的艾司摩尔设备数量达21台，总价值6.725亿美元（约新台币207亿元）。2023年11月，大陆进口42台半导体显影设备，总价值为8.168亿美元（约新台币252亿元），其中有16台来自荷兰，总价值7.627亿美元（约新台币234亿元），年增10.5倍。

艾司摩尔在2023年第4季出货的设备，多数是在2022年底或2023年初就已取得许可。艾司摩尔在2023年中的交货周期约18个月，代表2023年第4季出货的设备，客户应该是在2022年第2季或第3季就已下订单。

数据并显示，2023年第3季大陆半导体制造设备进口额为人民币634亿元（近新台币2,800亿元），较前年同期暴增93％。就产品类别来看，显影设备进口额暴涨近四倍。其中，来自荷兰的进口额暴增逾六倍，显然是艾司摩尔的产品。

业界分析，大陆显影设备进口量和进口额激增，可能是艾司摩尔赶在许可证失效前，匆忙出货的结果。从艾司摩尔2023年第3季财报来看，当季大陆市场销售额占比增至46%，远高于2023年前两季的数据（分别为24%和8%）。

研调机构集邦科技（TrendForce）昨天直言，艾司摩尔两款DUV机台提前取消销陆，不影响该机构对全球与大陆晶圆代工市场后市看法。

集邦提到，各国补贴政策驱动下，大陆、美国积极拉高当地晶圆代工产能占比，预期至2027年台湾、南韩两地产能占比将分别收敛至41%及10%。成熟制程（28奈米及更成熟的制程）方面，该机构先前分析提到，以大陆扩张产能最积极，在美国、日本及荷兰三方对先进设备的出口管制影响下，大陆转而扩大投入成熟制程。

【记者尹慧中／台北报导】美方拉拢盟友强化出口管制措施，避免相关技术用于军工领域。惟业界观察，美方态度愈强硬，将使得大陆自主研发突围的企图心更强，深紫外光（DUV）显影设备技术相对门槛较低，预期陆企在DUV领域已有突破或替代方案。

加上不少陆资厂商还积极囤货成熟制程设备，大陆虽在先进制程布局受阻，但官方祭出高额补助，成熟制程市占料仍将稳步提升。