陆商务部:荷兰曝光机应公平出口

美国设下层层关卡严堵中国进口最先进的曝光机,致中国难以提升半导体制造实力,中国商务部16日在中荷视讯会议上,对掌握光刻机(曝光机)关键厂商艾司摩尔(ASML)的荷兰喊话,呼吁要在这些问题上秉持公平

中国商务部官网公布,商务部副部长国际贸易谈判代表建华在16日下午与荷兰外交部外贸发展合作大臣卡格,以视讯方式主持召开中荷经贸混委会第17次会议,除了谈论中荷、中欧经贸合作议题外,中国还在核心技术领域进行表态

俞建华指出,中国愿意在服贸电商等领域与荷兰扩大合作,同时希望荷兰在华为5G、EUV曝光机等问题上秉持公平立场两国应落实好领导人共识,让双方经贸合作再提升。

曝光机是晶圆制造厂商的必要设备,当前最高等级的EUV曝光机更是台积电、三星等研发先进制程企业不可或缺的投资,而目前全球曝光机龙头便是荷兰厂商艾司摩尔,也仅有它有能力生产最先进的设备,故主流厂商都要向其进货。

然而,艾司摩尔有许多专利技术来自美国,所以在当前在美国禁令下,如中国晶圆代工龙头中芯国际就无法顺利采购EUV曝光机。

艾司摩尔10月曾表示,不用通过美国的许可,就能直接从荷兰向中国出口DUV曝光机产品,只是并未明确提及更先进的EUV曝光机能否出口。

另外,中国半导体行业协会集成电路设计分会理事长魏少军17日指出,当前美国的管制对中国半导体设备以及材料两领域的影响较大,中国在这两个领域的发展也相对较慢,核心技术受制于人,产品处于中低端的情况还没有彻底改变。