台積電建工業再生水廠 亞利桑那州廠水回收率拚90%

台积电美国亚利桑那州第1座晶圆厂将于明年初启用,为达成90%的水回收率目标,台积电规划于厂区内兴建一座工业用再生水厂,预计2027年完成,届时每天初始用水量将自475万加仑降至100万加仑。

台积电亚利桑那州厂明年将量产4奈米晶片,将是美国最先进的半导体制程技术,并对美国推动半导体在地制造极具战略意义,备受各界瞩目。亚利桑那凤凰城民众则关心台积电晶圆厂的用水情况及对当地供水可能造成的影响。

台积电亚利桑那州第1座晶圆厂日用水量估计约475万加仑,约当凤凰城1万4250余户家庭每天所需的水量,约占2%家户比率。

台积电旗下TSMC Arizona厂务处长杰克森(GregJackson)日前接受美国媒体访问说,第1座晶圆厂将依计划回收约65%的初始用水,再利用于冷却水塔及空污处理设施等不需要超纯水的制程中。

为达成「近零液体排放」目标,台积电规划兴建一座工业用再生水厂,目前进入设计阶段,预计2027年完成,水回收率将达到90%。

台积电采用物理、化学和生物处理等各项再生水处理流程技术,净化民生污水或工业废水,让几乎每一滴水都能于厂内再被利用,降低晶圆厂对市政用水的需求量。每天初始用水量将降至约100万加仑,约当3000户家庭每天所需的水量,不到凤凰城每天供水量的1%。