泰晶科技申请“降低石英传感器件机械耦合误差的方法”专利，降低石英传感器芯片机械耦合误差

金融界 2024 年 7 月 9 日消息，天眼查知识产权信息显示，泰晶科技股份有限公司申请一项名为“降低石英传感器件机械耦合误差的方法“，公开号 CN202410408708.4，申请日期为 2024 年 4 月。

专利摘要显示，本申请涉及石英传感器件制备的技术领域，具体涉及一种降低石英传感器件机械耦合误差的方法，包括以下步骤：Z 切石英晶片上处理形成多个石英传感器芯片，得石英传感器晶片，其中，每一石英传感器芯片侧壁具有晶棱；石英传感器晶片进行镀膜形成第一金属膜层；第一金属膜层表面形成第一光刻胶；通过侧面曝光方法对晶棱的第一光刻胶进行曝光；将第一光刻胶的曝光图案转移到第一金属膜层，得暴露晶棱；通过石英湿法化学腐蚀方法消除暴露晶棱。本申请具有定点定位精确消除石英传感器芯片侧壁晶棱，降低石英传感器芯片机械耦合误差的效果。

本文源自：金融界

作者：情报员