阳明交大开发科技厂防震技术 强化护国群山抗震韧性

阳明交大土木系教授王彦博在国际会议谈台湾科技厂的抗震新技术。（阳明交大提供／王惠慧新竹传真）

针对无尘室天花板的防震需求，阳明交大团队协助科技厂安装消能减震装置。（阳明交大提供／王惠慧新竹传真）

0403花莲大地震，不少竹科厂商都受到冲击，阳明交大19日表示，学校土木工程系暨防灾与水环境研究中心，2016年起协助半导体厂开发与安装炉管、仓储系统防震装置，经多年推广实施，在这次地震也展现极佳的防震性能。

校方指出，高雄美浓于2016年2月6日发生芮氏规模6.6强震，重创南台湾高科技产业，损失逾千亿台币，显示国内科技厂仍存在防震弱点。当时阳明交大土木系暨防灾与水环境研究中心受半导体厂委托，针对厂区内地震易损设备开发防震技术，包括较容易受到地震损害的垂直炉管、自动化仓储系统、天花板、库版、推车及货架等。

土木系教授王彦博指出，科技厂许多振动敏感性制程设备在地震中极易受损，其中自动化仓储系统防护性较为不足，当地震强度达一定门槛时，架上满载的晶圆盒就会震落，造成巨大损失。

研究团队开发防震技术，并经由土木系大型结构实验室的足尺地震模拟试验，确认其可行性，获得科技厂与保险公司认可，逐步在厂内推广实施。例如，安装消能减震控制的自动化仓储系统能大幅降低振动反应，有效防制晶圆盒被震落，其减震成效在0403花莲大地震获得充分验证。

此外，无尘室天花板属悬吊式系统，地震时作单摆运动但未与厂房结构之变形同步，会于周边产生碰撞挤压，造成天车轨道与设备的移位变形，甚至会崩落导致无尘室遭受污染，不仅延宕复工时程，更添营运中断损失。

团队也协助科技厂安装消能减震装置，并在竹科完成1座12吋晶圆厂无尘室的天花板耐震补强工程，在这次地震中也展现极佳防震性能。

王彦博说，在资源、时间有限的情况下，可针对大宗的震害损失来源加以控管，并配合策略性的产业保险规画涵盖其不足，就能大幅降低科技厂的震害风险，强化抗震韧性，在最短时间内恢复产能，将损失降至最低。