钰祥再突破 材料科学结合ESG

钰祥自有研发团队及设备实验室。图／业者提供

近年晶片供需战火热化，让台湾半导体产业发展更受瞩目，但ESG净零碳排意识擡头，在天然能源供给缺乏，缺水缺电现况的的台湾，如何在有限的能源使用前提下，迈向二奈米或更高精密的产业发展，已经成为高精密产业的急迫议题。

台湾半导体产业除了制程原物料采购及生产制程外，提供整个制程所需环境的高科技厂房设施以往较容易被忽略，在ESG净零碳排议题兴起后，开始越来越多人注意到高科技厂房设施，是影响直接碳排重要的隐形环节。

在半导体制程中，逸散到环境中的AMC（气体微污染物），对于晶圆制造良率产生绝对影响，需要依靠厂房设施进气单源MAU与风扇机组FFU，以及无尘室中的安装的专业化学滤网，进行相对应的吸附过滤，减少粒子状的污染物沉积在晶圆表面的机率，才能减少不良品的产生，提升产品关键良率，同时避免制程时间的增加，以及后续造成的能源消耗及废弃物间接碳排。

两岸三地最大化学滤网制造商，钰祥企业总经理庄士杰指出，在AMC分类中的E类污染源物质异丙醇与丙酮，是实务经验中晶圆代工客户在良率上目前遇到最大的瓶颈，特别是当关键线宽的尺寸进展到低于0.25微米时，单纯的无尘空间已经不能满足晶圆制造对于洁净度的需求。

今年钰祥透过独家材料研发成功，在实验研究数据的呈现及产线实际应用上，产品使用寿命及过滤效能都达到两倍的突破成果，而新型滤网在效能加倍的前提下，却可重复利用5次，滤筒则达到95％以上的循环再利用。

「ESG要怎么发展，站在制造业的角度上，就是要突破原本的思维，从材料科学源头出发，才能创造最有效的减碳效果。」钰祥总经理庄士杰表示。

钰祥在9月14日至16日于国际半导体展循环经济专区，展出获得2020年经济部循环经济示范场域相关产品，及降低碳排的数据成果。