准卖不准修？美要求ASML对出售中国光刻机停止关键部件维修

美国正要求荷兰盟友对中国晶片制造设备的维护施加更多限制，包括不对出售给中国的设备提供关键部件的维护服务，这可能导致这些光刻机无法运作。（图／路透）

在美国联合日本、荷兰升级对于半导体设备的出口限制之后，美国正要求荷兰盟友对中国晶片制造设备的维护施加更多限制，包括不对出售给中国的设备提供关键零部件的维护服务，但中国企业能在当地修复的周边零部件则不限制供应商提供维修服务。

据《快科技》报导，美国商务部负责工业和安全的副部长艾斯特维兹（Alan Estevez）表示：「我们正在与我们的盟友合作，确定哪些服务重要，哪些服务不重要。我们正在推动不对这些关键部件提供服务，目前还在进行讨论。」

不过他补充说，对于中国企业能够在国内修复的周边部件，美国并不打算给予限制。

报导表示，对于半导体设备来说，要想持续稳定在半导体制造产线上运行，设备的维护极为的关键。如果这些设备离开了售后维护，甚至可能会在一周之内就会出现问题。

同样地，设备的一些核心零部件也需要定期更换。据了解，ASML光刻机的工件台对准定位用的部件，一般来说，2年就需要更换。因此，中国大陆的晶圆制造商如果想要维持产线的生产的稳定，产线上的ASML光刻机的核心部件的供应和维护极为关键。

不过，报导指出，目前ASML受限的光刻机主要是NXT:2000i及更先进的机型，其他未受限的光刻机型销售和维护是没有受到影响。当然，如果相关设备零部件涉及美国技术来源，则会受到美国的出口限制。

目前ASML在大陆有一个维修中心，可以对于一些关键零部件进行维修，但是如果相关零部件属于进口受限的，而大陆半导体厂商光刻机损坏的正是这些受限的中国无法自行维修零部件，那就会造成问题。

报导说，对于中荷双方来说，在去年年底前已经出口到中国的NXT:2000i及更先进的光刻机机型，随着许可的失效以及美方的进一步施压，ASML后续能否继续为这类设备提供维护已成为一个悬而未决的问题。

荷兰首相吕特（Mark Rutte）近日在中国展开访问，关于ASML光刻机的议题受到外界高度关注。但是吕特刻意淡化中荷之间在ASML设备出口限制问题上的冲突，他拒绝回答荷兰政府是否会拒绝向ASML颁发许可证的问题，以及让ASML继续为这些中国客户提供维护服务的问题，「当我们不得不采取（出口限制）措施时，荷兰会确保这些措施绝不会专门针对某个国家，我们总是努力确保影响是有限的。」