3M比利时半导体冷却剂厂无限期关闭 台积、联电、世界：有备案，免惊

外媒报导指出，3M在比利时的冷却剂工厂使用涉及PFAS的半导体冷却剂及部分产品，遭到当地政府法规影响，PFAS产线已经被无限期关闭，该措施自3月8日开始执行，3M已经在3月18日向客户发出正式通知，据传客户群包含台积电、三星、SK海力士及英特尔等全球半导体大厂。

据悉半导体冷却剂主要用在半导体晶圆制造的蚀刻制程当中，并具有高纯化的含氟电子化学品，可应用在干式或湿式制程当中，不论先进制程或成熟制程，都需要用到半导体冷却剂，国内晶圆制造大厂举凡台积电、联电及世界先进等相关厂商都需用到。

外媒表示，3M在比利时的冷却剂工厂供应全球总产量大约八成，若该产线停产将会影响半导体制造。对于，半导体冷却剂供应可能受阻影响，台湾晶圆制造大厂普遍对此表达有替代方案，不会影响到晶圆制造。

台积电表示，公司与供应链紧密合作，目前不预期会造成影响；联电亦对此指出，公司具有替代方案，因此没有影响；世界先进指出，公司具有多方供应来源，且有库存应对，影响层面不大。

供应链指出，台积电在半导体制造供应链当中，不论是干式、湿式等制程使用的化学气体、液体，供应商除了欧洲之外，日本、韩国等地亦有，且在台湾生产供应链库存至少都有数月，不受本事件冲击。

事实上，除本次半导体冷却剂事件，先前半导体使用的高纯化稀有气体氖气，由于主要生产国在乌克兰，受乌俄战争影响，供应量也同步受阻，虽晶圆制造大厂都已将库存拉高至6个月，但半导体制造供应链布局全球化，难免还是会受到单一事件或单一地区的影响。