《半导体》台积电物联网智慧节能系统 年节能效益8500万元

台积电(2330)携手应用材料公司与附属设备供应商针对非生产区(Sub-fab)的附属设备打造「iSystem物联网智慧节能控制系统」，并已导入晶圆十五B厂80种制程、588台生产机台所属的2,351台真空帮浦、805台现址式尾气处理系统，达成年度省电1,340万度、减少13,800公吨碳排放量，成功创造新台币8,500万元的节能效益。

台积公司致力实践绿色制造，持续以创新技术追求能源与资源最佳使用效率，继引领业界开发世界级半导体绿色机台，更在不影响生产机台效能的前提下，打造「iSystem物联网智慧节能控制系统」。

半导体晶圆制造过程中会使用不同的制程气体，一般位于非生产区的附属设备皆以固定全载方式运转，为提高能源使用效率，民国105年，台积公司携手供应商开发及导入「iSystem物联网智慧节能控制系统」，将其做为生产机台与附属设备之间的对接桥梁，使其可依生产机台使用的制程气体，同步自动调变运转参数与能耗以达成节能效果。除了节能模式，进一步开发附属设备的睡眠模式(Sleep Mode)与休息模式(Rest Mode)，当生产机台于较长时间未运转时，可节省更多能耗。

为更系统化落实节能行动并确保成效，民国109年，台积公司将「ISO 50001(Energy Management System, EnMS)能源管理系统」导入iSystem，且开发建置iSystem异常管理系统与节能报表系统，以利更精准掌握能源使用量，并进一步计划将能耗资料储存于云端。

为扩大节能效益与使用范围，台积公司寻求与其他半导体设备供应商合作，所有制程及生产机台的附属设备皆计划导入智慧节能机制，目前除了晶圆十五B厂持续进行应用开发与建置外，晶圆十八厂于民国110年开始导入，并将逐步推展至台湾厂区所有十二吋晶圆厂，预计未来每年可省电8,200万度、减少84,600公吨碳排放量，创造新台币5亿2,000万元的节能效益。