FEI 公司申请检测探针着陆专利，用于集成电路测试系统中检测探针着陆

金融界 2024 年 12 月 18 日消息，国家知识产权局信息显示，FEI 公司申请一项名为“用于在集成电路测试系统中检测探针着陆的技术”的专利，公开号 CN 119125834 A，申请日期为 2024 年 6 月。

专利摘要显示，用于在集成电路测试系统中检测探针着陆的技术。用于检测探针尖端与样本表面之间的接触的系统、方法和技术。一种方法可以包括使用具有抖动频率的周期性运动在与表面基本平行的平面中抖动探针。该方法可以包括朝向探针的区域引导带电粒子束。该方法可以包括至少部分地基于带电粒子束与探针的区域之间的相互作用来生成描述探针的周期性运动的检测器数据。该方法可以包括使探针朝向表面移位。该方法还可以包括使用检测器数据来检测探针与表面之间的接触。

本文源自：金融界

作者：情报员