浙江确安科技申请用于晶圆测试的针压控制专利，解决晶圆 pad 上针压大小不统一的问题

金融界 2024 年 12 月 4 日消息，国家知识产权局信息显示，浙江确安科技有限公司申请一项名为“用于晶圆测试的针压控制方法、系统、设备和存储介质”的专利，公开号 CN 119064755 A，申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示，本发明涉及集成电路测试技术领域，具体公开一种用于晶圆测试的针压控制方法、系统、设备和存储介质，该方法包括：当利用探针卡对待测晶圆进行测试时，获取所述探针卡对准所述待测晶圆的任一预设区域时的探针覆盖区域；基于所述任一预设区域对应的探针覆盖区域与所述探针卡的探针总覆盖区域之间的关系，确定该预设区域的实际针压，并控制探针台按照该预设区域的实际针压，以对所述探针卡与该预设区域之间的接触进行测试本发明能够解决晶圆 pad 上针压大小不统一的问题，提高了晶圆测试中针压控制的精度。

本文源自：金融界

作者：情报员