浙江盛视检测装备申请高精度快速度的图案晶圆自动对焦系统及方法专利，能准确地探测带图案晶圆表面与大NA 物镜间的距离变化

金融界2024年11月14日消息，国家知识产权局信息显示，浙江盛视检测装备有限公司申请一项名为“一种高精度快速度的图案晶圆自动对焦系统及方法”的专利，公开号 CN 118936325 A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本发明公开了一种高精度快速度的图案晶圆自动对焦系统及方法。方法包括：光源出射的光经由准直透镜、分光镜、投影透镜、分光镜以及显微物镜，形成入射照明光路；掩膜被置于准直透镜和投影透镜之间，入射照明光路经掩膜使得待测晶圆上形成光栅状的第一平面成像；晶圆上的第一平面成像再反射，经由显微物镜、分光镜、投影透镜以及分光镜所构成的反射收集光路后，形成第二平面成像被相机所收集；相机收集到光栅状的第二平面成像，经过图像处理算法测得待测晶圆表面的离焦距离。本发明可以准确地探测带图案晶圆表面与大NA 物镜间的距离(高度)变化，自动对焦的光学系统简单。

本文源自：金融界

作者：情报员