盛吉盛申请高度可调式磁悬浮限位柱及半导体设备专利，实现调整晶圆到反射板之间距离

金融界2024年12月2日消息，国家知识产权局信息显示，盛吉盛半导体科技（北京）有限公司申请一项名为“高度可调式的磁悬浮限位柱及半导体设备”的专利，公开号 CN 119050041 A，申请日期为2024年9月。

专利摘要显示，本发明提供了一种高度可调式的磁悬浮限位柱及半导体设备，其中，高度可调式的磁悬浮限位柱设置于半导体设备的腔体与磁悬浮定子之间，用于调节腔体与磁悬浮定子之间的距离，高度可调式的磁悬浮限位柱包括第一柱体和第二柱体，第一柱体和第二柱体螺纹连接，第一柱体的上表面与腔体抵接，第二柱体的下表面与磁悬浮定子抵接。通过旋拧第一柱体或第二柱体使磁悬浮限位柱伸长或缩短来控制磁悬浮限位柱的高度，以调节磁悬浮定子与腔体之间的距离，进而通过磁悬浮定子控制磁悬浮转子的高度，从而控制晶圆到反射板之间的距离。通过控制磁悬浮定子与腔体之间的距离，实现调整晶圆到反射板之间距离，该磁悬浮限位柱的结构简单，易装配，可实现快速调整。

本文源自：金融界

作者：情报员