护国神山「台积电」神队友！　名单曝光

▲苹果（Apple）等科技巨擘要求供应链针对环保应该有更积极的作为，因而衍生出废液回收等新绿色商机。（图／镜周刊提供，下同）

图、文／镜周刊

分析师指出，苹果（Apple）等科技大厂积极打造绿色供应链以达碳中和，身为晶片代工龙头的台积电也透过净零液体排放目标朝绿色制程开发新解方，正衍生制程机能水系统、制程特殊废液处理、再生水处理等新业态，是未来具潜力的新绿色商机。

「半导体湿制程需要的化学品上百种，其中液体高达9成，像是显影剂用的四甲基氢氧化铵（TMAH）等有机溶剂，可透过回收技术（蒸馏）与特殊回收设备处理，且在达到一定纯度后进行转售。随着碳税正式上路，也增强业者投资回收技术与设备的诱因。」日商瑞环业务总监三宅光也向本刊表示。

「多年来，台积电已养出兆联、华汉等制程用再生水回收好帮手，这些协力厂对施工、不同化学品所需的管线材质十分熟悉，与台积电关系非常紧密。」山林水总经理吴人杰向本刊提出他的观察，他并进一步指出，山林水以处理民生废水回收为主，日前标下高雄楠梓再生水厂BTO案后，预计2028年透过南科管理局转供给台积电利用。

「不过，我们（山林水）的民生废水回收后，若要进入晶圆制程使用，还得经过数10道程序；此时，就得借重制程用水系统厂商来处理。」吴人杰一边描述半导体再生水的利用流程，一边点出兆联等制程用再生水回收业者的重要性。

吴人杰认为，台积电海外大扩厂，这类业者（系统厂）因在建厂之初就导入施作，自然容易跟着把服务整厂输出到海外，成为台积电海外建厂受益者。

业界人士指出，一般工业用水可区分前段的超纯水、中段制程的回收水、末段的废水处理，而半导体从铝制程、铜制程发展到最先进的钴制程，在中段制程的回收难度大幅拉高。

除了兆联等业者，分析师余佩儒也点名，信纮科、友达旗下的友达宇沛，也正从既有厂务衍生新事业卡位再生水处理服务。

据了解，厂务设备起家的信纮科，早从2012年就与台积电展开合作，透过二氧化碳与氨气等机能水清洗设备的开发，取代过去有危害物质如N-甲基吡咯烷酮（NMP）的清洗方式，并取得台积电认证，今年也随之一起在日本设置办事处，满足客户绿色制程需求。

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