Jim博士：EUV专利等于有了光刻机？对于EUV光刻的基本认知误区！

很多社交平台网友对于技术发展的理解，可能停留在某某公司发表了一个专利的水平。

如果看到某个公司发表了一个EUV专利，就认为它快要攻克光刻机，那就是一个典型的笑话。

比如，韩国三星2024年4月12日在中国的一个专利申请公开，其内容就是“极紫外光源”。

我们看下，三星的极紫外光源发生腔体设计，是不是很眼熟呀？

三星专利中间给出了每个模块的详细图纸。

韩国三星的极紫外光源

不仅如此，三星还给出了一个极紫外光源的整机安装系统图。

那么，三星的“极紫外光源装置”到底说什么呢？

其实，这个专利，要点是“防止或减少发生碎屑的可能性或者碰撞的可能性”，也就是通过腔体的几何设计、内部低压氢气流的循环通道来降低二氧化碳激光轰击液体Sn产生高温等离子体过程中出现的各种碎片污染问题。

所以，同样是极紫外光源装置的中国专利，但是这篇专利并没有涉及任何高功率EUV光发生器的技术。

其实，全球很多企业每年都会发表EUV光源技术专利，我之前便介绍过台积电的EUV光源专利。这种技术更多的属于企业的专利布局的一部分，而并非其真正要做EUV光刻机的产业化。

台积电的极紫外光源和光刻系统专利

大家想看看台积电有多少极紫外光源专利吗？

我们下期见！

台积电2022年中国专利：极紫外光源