快讯／竹科「晶圆原料」槽车翻覆！恐怖自燃气体「矽甲烷」外泄
新竹科学园区双园路一段和园区三路交叉口26日上午8时许，发生一起意外事故，事发当时一辆化学槽车上的钢瓶气体泄漏，而警消获报赶往现场后发现，其泄漏物为矽甲烷，目前没有明显火势，已划警戒区及拉起水线警戒，并通知厂商到场处理。
▲化学槽车钢瓶泄漏。（图／记者陈凯力翻摄，下同）
警消于26日上午8时54分接获通报指称，上述路段有钢瓶气体泄漏，并立即派遣4车8人前往抢救，于9时4分抵达现场后发现，现场毒化物为矽甲烷，经警消抢救后，目前已无泄漏情形，而现场已架设砲塔，但厂商尚未到场处理，警消也已通报毒化灾应变队、火调人员、科管局。
矽甲烷性质概述：矽甲烷简称Silane，系由矽及氢合成，为半导体重要的原料，用于生产制成晶圆等，矽甲烷为自燃性气体与空气接触便会自燃，并释放出未结晶的二氧化矽。矽甲烷和水接触后会形成矽酸 (silicic acid) 具有腐蚀性的危害。