明远展出臭氧供应系统 具发展潜力

明远精密自主研发之高效节能射频电源系统ACME。图／明远精密提供

日扬子公司明远精密以电浆、镀膜及电子技术为核心，成立初期以远端电浆系统、射频电源、微波系统的维修及零件销售为主，近年研发出多项半导体设备电源主、副系统有成，深具发展潜力。

此次SEMICON明远展出臭氧供应系统为近年发展的主力产品，做为国际半导体最大设备厂「唯一维修策略伙伴商」，明远开发出用于LED产业ALD制程的臭氧产生器AOS-6800，通过SEMI S2认证，内建全新电控系统暨RS485通讯介面，包含流量及压力控制器与浓度侦测器全数自主研发生产。明远在臭氧供应系统关键零组件研发的掌握趋近完备，下一阶段将与全球半导体最大设备商朝前段制程的新品方向协作开发。

射频电源系统是明远另一发展重点，早于三年前即推出自有品牌ACME，深受国内众多半导体大厂肯定，也已打入日本市场，预计明年抢进中国。ACME的节能特色正符合产业ESG大趋势，加上8吋晶圆厂旧有电源系统的汰换商机无限，该产品节能、高效、低维修率的优势将为明年的营运成长注入更多活水。而针对12吋晶圆厂，明远也积极评估与伙伴设备商合作开发射电新品的可能性。

明远精密卢俊宏总经理表示，明年对于既有成熟的维修服务市场可望提高市场占有率，也希望将自有品牌产品拓展到更多市场。日扬集团明年启动美国拓点计划，有机会带动明远现有产品深入美国市场。而明远拥有的关键技术在集团第三类半导体射电类系统的开发上，也将扮演重要角色，明远亦展出机械手臂及RPS远端电浆源系统，RPS新品已通过经济部A+专案功能验证，1-2年后将实现商品化。