三星电子：测试 TEL 新设备改进光刻工艺 7 月发布

【消息称三星电子测试 TEL 公司 AcreviaGCB 设备】

三星电子正在对 TokyoElectron的 AcreviaGCB 气体团簇光束系统开展测试。TEL 的 AcreviaGCB 系统于今年 7 月发布，能够借助气体团簇光束对 EUV 光刻图案进行局部精准整形，以此修复图案缺陷、降低图案粗糙度。