厦门超新芯取得一种高倾角样品杆专利,很大程度上避免了在倾转过程中芯片放置槽对电子束的遮挡
金融界2024年12月16日消息,国家知识产权局信息显示,厦门超新芯科技有限公司取得一项名为“一种高倾角样品杆”的专利,授权公告号 CN 222146133 U,申请日期为 2024 年 1 月。
专利摘要显示,本实用新型提供一种高倾角样品杆,包括依次连接的手柄、杆身和杆头主体,所述杆头主体设置有芯片放置槽,所述芯片放置槽的槽底开设有透光口;所述杆头主体在芯片放置槽的底部减薄设置而形成让位空间,所述让位空间在杆头主体的宽度方向上贯穿设置,所述透光口包括位于中心的中心透光区以及由中心透光区向杆头主体的宽度方向上的两侧延伸的延伸透光区。很大程度上避免了在倾转过程中芯片放置槽对电子束的遮挡,提供了一个超大的视场范围用于观察,由此也极大的提高了样品杆的倾转角度的上限。
本文源自:金融界
作者:情报员