广东润宇传感器股份有限公司申请异型腔体制备和传感器制备专利，简化异型腔体制作工艺提高产品生产良率

金融界2024年11月26日消息，国家知识产权局信息显示，广东润宇传感器股份有限公司申请一项名为“异型腔体制备方法和传感器制备方法”的专利，公开号CN 119018846 A，申请日期为2024年10月。

专利摘要显示，本申请属于微机械加工技术领域，具体涉及一种异型腔体制备方法和传感器制备方法；该制备方法包括根据异型腔体的设计图，在所述衬底上的岛状结构区或膜片区形成图形化的硬掩膜层，得到预刻蚀结构；其中所述异型腔体包括至少两种高度的岛状结构或至少两种厚度的膜片不同高度的岛状结构对应不同厚度的硬掩膜或不同厚度的膜片对应不同厚度的硬掩膜；对所述预刻蚀结构进行刻蚀，以形成所述异型腔体。该方案只需对衬底进行一次刻蚀，即可在深腔底部制备出不同高度的岛状结构或者具有不同厚度的膜片，从而简化了异型腔体制作工艺，提高了产品的生产良率。

本文源自：金融界

作者：情报员