耀儒科技展翅高飞 铜科气体厂动工

耀儒科技铜锣厂开工动土典礼完成后，总经理赖昱铨（右四）和竹科管理局副局长陈淑珠（左四）等贵宾合影。图／黄俊荣

为因应半导体产业建立在地化供应链，台湾本土电子级气体、化学品供应商耀儒科技，去年11月获得科技部核准，进驻铜锣科学园区工19用地，将兴建高纯度特殊气体制造研发中心，第一期工程已于7月15日举行开工动土典礼，预计2023年第4季完工生产。

耀儒科技成立于2020年，主要供应面板与半导体产业，符合绿色经济链之气体与化学品。这二年因新冠疫情与地缘政治风险，国内高科技业加速供应链在地化，尤其护国神山台积电更是在多年前就已积极扶植在地供应商，不论是后段设备、原物料与零配件厂皆因此受惠。耀儒科技也在这股浪潮中，倚靠着特殊气体合成、分馏纯化之高阶技术，以及专业团队本着热忱到场服务的迅速工作效率，获得多家半导体厂肯定，成为该产业链不可缺少的重要伙伴，成立短短二年，就已取得各大先进半导体公司之供应商资格。

该公司总经理赖昱铨表示，电子特种气体是半导体生产不可或缺的关键原材料。这些气体通过不同的制程使矽片具有半导体性能，如果某一个特定杂质超标，将导致质量严重缺陷，是名副其实的半导体之「血液」。其中，乙硼烷B2H6因其高度不稳定特性，容易引发裂解反应而形成高硼烷与其他副产物气体，易产生不纯物与杂质而影响良率，以往都是仰赖国外进口为主。

但由于疫情冲击，半导体厂倚赖国际生产的原物料皆受到严重的供货影响，因此乙硼烷的在地生产化非常关键。赖总经理说，耀儒掌握特殊气体关键研发生产技术，可依半导体大厂需求客制化各阶段制程所需高良率及纯度之气体，是本土在地生产之重要供应商，目前已取得美光之认可，长期配合提供电子级气体，另多家大厂已进入评估认证讨论阶段。

耀儒铜科厂占地12,000平方米，未来将生产高纯度乙硼烷，包括：10％、5％、1％B2H6等各项混合气，以及高纯度一氧化二氮N2O和二氯矽烷（DCS, SiH2Cl2）等特殊气体，法人预估，量产后在特殊气体市场将超过30％以上的占有率。赖总经理说，耀儒掌握自主开发之制程参数，从气体的生产、纯化、收集、精馏到混配控制的精密控管流程，都是业界一流。能够不到二年时间，就获得半导体大厂肯定，主要归功于优秀的技术团队，我们每一位工程师皆是从高科技产业出身，对于制程中如何生产了如指掌，才能提供半导体大厂所需的电子级气体。

除了电子级气体，耀儒在回收化学品并回供至半导体厂领域，也有很大进展，现已跟大厂合作至品质验证阶段，达成既是供应者，也是方案解决的提供者。

赖总经理强调，铜科厂动土是耀儒科技一项重要里程碑，一路走来我们花了很多心血，员工人数从初期的十几人，到现在已经约百人规模，能进驻高科技产业重要的生产基地，是耀儒这几年来辛勤打拚的肯定，不论是特殊气体、化学品或是绿色循环经济，都在默默耕耘的阶段，短期内会先在国内市场站稳脚步，但我们目标是成为气体与化学品供应链的佼佼者，再加上半导体制造已经开始走向「在地化」，在立足台湾后，耀儒科技也将进军国际，有信心能和全球一级大厂一争高下。