与家登十年专利诉讼达成和解　英特格：有助客户发展

▲英特格台湾区总经理谢俊安 。（图／资料照）

记者周康玉／台北报导

半导体材料厂英特格（Entegris）今（21）日针对与EUV光罩厂家登（3680）缠讼多年后达成和解一案，首度表示看法。英特格总裁暨执行长Bertrand Loy表示，和解是双方最好的结果，此结果将有助客户发展。

家登与英特格同为极紫外光光罩盒（EUA Pod）供应商，双方为专利攻防往返10年之久，英特格在2015年5月控家登，主张家登制造销售的光罩传送盒侵害其专利权，向家登求偿1000万，后追加为10亿，缠讼5年，双方终在上（11）月18日达成和解。

英特格总裁暨执行长Bertrand Loy表示，目前因仍在缄默期，不便评论此事，但可确定的是此结果有助客户发展。

英特格台湾区总经理谢俊安表示，EUV在半导体制程扮演关键角色，和解对双方来说是最好的结果，对产业、客户都皆如此。