准力晶圆单面抛光机 精确快速

准力高精密JL-S12单面抛光机晶圆抛光机。图／准力提供

准力机械在工具机平面磨床领域将近40年，近年来投入晶圆研磨与抛光机，响应政府推动半导体设备自制，暨晶圆减薄研磨机与双面抛光机，再推出更精密的单面抛光机JL-S12，其设计主要功能：S12属於单头抛光之单磨头设计，其制程控制系统，用以确保晶圆表面的均匀抛光，对维持晶圆各层的完整性至关重要。

JL-S12属於单头抛光机器，配备抛光垫调节系统，可长期保持抛光垫的有效性，确保结果一致，系统可以精细控制抛光过程中施加的压力，这对于实现所需的材料去除率和表面镜面度至关重要，机器也含有清洁模组用于清除晶圆表面的任何残留浆料或碎片，抛光时避免刮伤，浆料输送系统，可在抛光过程中精确控制浆料的量和分布。JL-S12属於单头抛光机配方管理，它提供储存和管理多个配方的能力，允许在不同抛光制程之间快速切换，即时监控包括抛光压力、垫磨损、浆料流量等参数的即时监控系统，实现对抛光过程的严格控制。

JL-S12适用产品：单晶矽／多晶矽、STI浅沟槽、钨抛光、铜镶嵌（WLP和MEMS）、光学玻璃、石英、硬脆材料、金属类铜、铝等抛光等。9月4日在SEMICON TAIWAN国际半导体展南港一馆展出（摊位：J2456），网址：www.joenlih.com。