准力JL-D18双面抛光／研磨机 异军突起

准力JL-D18双面抛光机/双面研磨机。图／业者提供

准力机械股份有限公司，工具机首家跨入半导体研磨领域，研发新型JL-D18双面抛光机（double sided polishing），可用于半导体晶圆加工，产品加工后的表面精度可小于1um，在半导体晶圆研磨机抛光机中再度突破，更是工具机业异军突起。另外，根据客户材料与加工需求，同样机构搭配不同材质与结构亦具备双面研磨（double sided lapping）。

准力公司董事长林馨堂表示，新产品JL-D18双面抛光机／双面研磨机，适用于工件需要双面同时加工，且又特别适于易翘曲之材料加工，机器可同时精密加工多片工件。抛光／研磨后之工件具有优异的平面度、平行度与低翘曲特性。机构采取行星式运转设计，表面达到无机械纹路之效果（镜面或雾面），PLC控制器可搭配类人机介面、提供使用者简单的操作方式，准力提供客制化程式撰写与维护。

新产品JL-D18双面抛光机／双面研磨机，具备自动／简易供浆系统，粗细抛光／研磨液可自动／手动切换，并可搭配线上自动厚度侦测（根据工件厚度与材质设计安装厚度侦测仪），自动工件取放系统，可客制化工件取片与放片。为减少顾客清洗盘面时间，也可搭配自动清洗盘面与保湿，上下冷却盘可强化加工时工件平面度，准力应用丰富研磨经验，可针对客户抛光需求搭配不同材质抛光垫／研磨盘、抛光研磨液与加工参数，让客户更快将产品导入制程。

新产品JL-D18双面抛光机／双面研磨机，适合抛光与研磨工件种类，包括：非金属：矽晶圆、碳化矽晶圆、石英玻璃、蓝宝石、氮化铝、砷化镓、钻石晶圆；金属：氧化铝、铜、不锈钢、碳化钢、十字钢等。网址：www.joenlih.com.tw。