准力秀JL-D18半导体机 惊艳

准力董事长林馨堂与JL-D18双面抛光双面研磨机。图／蔡荣昌

准力机械股份有限公司，工具机首家跨入半导体研磨领域，研发新型JL-D18双面抛光机及双面研磨机，用于半导体晶圆加工，产品加工后的表面精度可小于1um，在半导体晶圆研磨机抛光机中再度突破，在台湾工具机展（摊位：I0416）中，独特半导体机器惊艳全场。

准力公司董事长林馨堂表示，新产品JL-D18双面抛光机／双面研磨机，具备自动／简易供浆系统：粗细抛光／研磨液可选自动／手动切换，并可搭配线上自动厚度侦测，根据工件厚度与材质设计安装厚度侦测仪。另外，自动工件取放系统，可客制化工件取片与放片。

新产品JL-D18双面抛光机（double sided polishing）／双面研磨机（double sided lapping），适用工件需要双面同时加工，特别适于易翘曲之材料加工，机器可同时精密加工多片工件。抛光／研磨后之工件具优异平面度、平行度与低翘曲特性，机构采取行星式运转设计，表面达无机械纹路效果（镜面或雾面），PLC控制器可搭配类人机介面、提供使用者简单操作方式，客制化程式撰写与维护。

新产品JL-D18双面抛光机／双面研磨机二机一体，适合抛光与研磨工件种类，包括非金属：矽晶圆、碳化矽晶圆、石英玻璃、蓝宝石、氮化铝、砷化镓、钻石晶圆；金属：氧化铝、铜、不锈钢、碳化钢、十字钢等。网址：www.joenlih.com.tw。