环球晶8吋SiC 明年出货

环球晶董事长徐秀兰亲自解说该公司碳化矽（SiC）下一代新产品。图／李娟萍

环球晶近六季业绩

碳化矽发展进程加快，环球晶（6488）董事长徐秀兰26日指出，环球晶克服碳化矽长晶的技术困难，已将碳化矽（SiC）长晶成功推进至8吋，与国际大厂同步。

她预期，2024年第四季8吋碳化矽产品开始小量出货，2025年开始放量成长，2026年将「8上6下」，8吋总出货量比重将超越6吋。

财团法人光电科技工业协进会主办「第三十一届国际光电大展」，于台北南港展览馆展出，环球晶与母公司中美矽晶、集团旗下转投资朋程科技同时参展，并各自推出化合物半导体的最新成果。

就碳化矽发展进度，徐秀兰在展场受访时透露，环球晶8吋碳化矽长晶良率太好了，但产出炉数还不够，还有成长的空间，目前比50％高一些。

环球晶强调，目前已具备8吋碳化矽长晶、切割、研磨及抛光技术能力，明年上半年可以送样品。徐秀兰说，客户希望环球晶尽快排出6吋及8吋的切换时程，做到「8上6下」，8吋碳化矽需求出乎她先前预期，主要是来自车用客户的要求。

目前环球晶碳化矽基板主要在台湾生产，未来碳化矽磊晶将会在美国厂进行，并会再拓展二个基板厂、二个磊晶厂。

碳化矽晶体因需于极高温密闭环境下生长，长晶炉热场及坩埚材质等因素须通盘考虑设计，增加了设备和操作的复杂性。

环球晶自主设计开发碳化矽专用长晶炉，在实现更高材料品质控制的同时，进一步降低长晶成本。

碳化矽高硬度与高脆性，使后续晶圆加工过程非常困难。环球晶以更高制程精度与更有效晶圆处理方法，实现碳化矽晶圆的超薄加工。

此次展场中展出的6吋90微米及8吋350微米碳化矽超薄抛光晶圆，也成为众人瞩目焦点，环球晶的薄化技术能力，将减少客户后段处理工段及成本，也符合低碳环保诉求。