经部2奈米镀膜设备 首亮相

除此之外，经济部亦发表数项全球领先技术，包括「全球散热能力最强的相变化水冷技术」，可达全球最高千瓦散热水准，超越目前散热技术1倍以上，符合未来AI与资料中心建置需求，该技术已与一诠精密合作生产产品，并已经交货给数家国际AI晶片大厂验证中。

经济部技术处处长邱求慧表示，经济部技术处透过法人研发及补助业者，发展AI晶片及前瞻记忆体、化合物半导体制程材料设备等自主技术、以及推动法人建置先进制程及异质整合试量产线，自2019年至2023年已投入超过250亿元，加速国内业者创新产品落地，未来将持续协助产业在先进制程、小晶片、异质整合、化合物半导体、绿能技术等领域，开拓创新技术与国际市场。

旭宇腾精密科技董事长王春晖表示，与工研院合作全球首创自制的两奈米设备未来有非常多的应用，半导体往更小奈米的制程，相信可以达成许多目标。期许未来能推动国内半导体设备自制的自主化，以及机器设备能更往国际推广。

一诠精密董事长周万顺表示，一诠这几年在半导体更小奈米制程的散热需求提前部署，「千瓦级散热方案」是工研院协同一诠的团队开发真空的蒸汽腔体，直接贴合在晶片上散热，难度非常高，也是全球首创，将成为未来先进封装制程的最佳解决方案。