氫氟碳化物將總量管制免驚 台積電這樣說

台积电。（路透）

关于环境部将管制半导体制程清洗元件所需的氢氟碳化物议题，再度被外界关注，不过该议题讨论已久，国内龙头半导体大厂多已有接轨法规的准备。台积电（2330）今（6）日回应也提到，针对氢氟碳化物（HFCs）的使用，台积公司将配合主管机关规范，同时持续开发与导入制程使用削减技术，并加速长期在替代化学品的相关研究。

台积电回应该议题全文如下：

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