台积 导入CDA流量控制减碳

台积电表示，预计今年第四季完成先进封测厂既有针测机系统全数更新。

台积电实践绿色制造，除以二大策略、六项行动方案扩大节能成效外，在不影响机台效能的前提下，携手设备供应商针对测试机台开发智能压缩干燥空气CDA流量控制系统，透过精准控制CDA流量输出开关，不仅节省测试机台70％的CDA用量，亦达到省电效果。截至今年3月，已导入先进封测厂针测机，每年减少碳排放量4,473公吨、省电891万度。

晶圆测试的目的为确认每片晶圆的可靠度与良率，依不同测试环境需求，部分测试机台由厂务系统全时段供应CDA以确保低温时仍保持干燥，维持测试环境的稳定性。

台积电表示，因半导体制程快速演进使测试需求持续增加，为提升机台运作与CDA使用效率，测试营运处于2020年第三季启动智能CDA流量控制系统开发专案，与设备供应商合作改造测试机台管路、控制阀件及控制软体系统，透过撷取机台参数，可依据测试环境需求自动控制CDA流量开关，非低温测试环境时即关闭控制阀，达到有效节省CDA用量与电力的效益。

台积电预计今年第四季完成先进封测厂既有针测机系统全数更新，并将智能CDA流量控制系统列为新建先进封测厂测试机台标准设计，预估至2026年可年省4,000万度电、减碳20,080公吨，相当于52座大安森林公园一年的二氧化碳吸附量；台积电亦规画将智能CDA流量控制系统导入测试机，持续扩大节能效益，朝能源使用效率最佳化目标迈进。