SiC产值冲 欧美IDM厂独占鳌头

2021年SiC基板市占率

2021年SiC功率半导体市占率

图／本报资料照片

纵观全球SiC（碳化矽）产业发展，TrendForce表示，欧美IDM大厂已占据绝对领先地位，其中美国更在基板材料环节占据过半市占率。为确保长期稳定的SiC业务发展，各大厂商同时陆续切入上游关键基板材料，试图完全掌握供应链，因此垂直整合已成为目前SiC产业发展的重要趋势之一。据TrendForce预测，2022年全球SiC功率半导体产值约15.89亿美元，至2026年可达到53.02亿美元，CAGR达35％。

据TrendForce研究显示，SiC基板生长条件困难、工艺难度大、技术门槛高，已成为下游产能的关键制约点，目前只有Wolfspeed、ROHM、ON Semi与STM等少数厂商具备SiC晶体自主生产能力。Wolfspeed做为全球最大SiC基板厂，于SiC基板和结晶方面的专利实力遥遥领先，其于2021年全球SiC基板市占率高达62％，而Wolfspeed已与Infineon、STM、ON Semi等厂商签订价值超13亿美元的原材料长期供应协议。

STM在2019年以近1.375亿美元完成对瑞典SiC基板制造商Norstel AB的收购，STM虽借其持续生产6吋SiC基板和外延片，但这笔交易显然针对的是8吋基板之研发与生产。目前STM的SiC基板90％以上来自外部采购，供应商包括Wolfspeed和ROHM旗下SiCrystal；此外，STM希望于2024年将有40％供应来自内部生产。

ON Semi为了更好确保和增加SiC基板的供应，2021年以4.15亿美元收购美国GT Advanced Technologies，该厂商曾于2019年推出CrystX SiC材料，随后便与环球晶、ON Semi和Infineon达成长期供应协定。ON Semi打算扩大和加速GT Advanced Technologies的SiC材料开发，其中包括推进6吋和8吋SiC晶体生长技术，同时还投资更广泛的SiC供应链，包括Fab产能和封装，以向客户保证关键元件的供应，进一步商用化智慧电源技术。

日商ROHM同样透过收购方式在2009年获取彼时欧洲最大SiC基板厂商SiCrystal相关技术，目前其在全球SiC基板市场占据第三名。2022年SiCrystal的SiC基板产能已几乎售罄，主要客户为母公司ROHM、Infineon、STM等。

Infineon虽不具备SiC单晶生长能力，不得不与Wolfspeed、GT Advanced Technologies与Showa Denko签订材料长期供应协议，但其亦透过收购Siltectra涉足SiC晶锭切割领域。根据TrendForce了解，Siltectra独有的冷切割（Cold Spilt）技术是一种高效晶体材料加工工艺，可将SiC基板产能提升3倍以上，同时每片基板损失低至80μm，且基板减薄仅需几分钟，可节省90％材料。目前冷切割技术正在Siltectra德国工厂和Infineon奥地利工厂实现工业化。