西安奕斯伟申请化学气相沉积设备专利，沉积过程中可获取距离并进行温度补偿

金融界2024年12月7日消息，国家知识产权局信息显示，西安奕斯伟材料科技股份有限公司申请一项名为“化学气相沉积设备”的专利，公开号CN 119082867 A，申请日期为2024年8月。

专利摘要显示，本公开实施例公开了化学气相沉积设备，所述化学气相沉积设备包括：承载件，用于承载基板；设置在所述承载件上方的测距装置，用于在化学气相沉积过程中实时获取其与所述基板上已形成的沉积层的表面上不同区域中的每个区域之间的距离；设置在所述承载件下方的温度补偿装置，用于对待温度补偿的区域进行温度补偿。

本文源自：金融界

作者：情报员