北科大 设半导体厂务与设备中心

北科大副校长杨重光（右四）、能源系特聘教授胡石政（右三）、台湾高科技厂房设施协会秘书长张陆满（右二）、益升总经理张振光（左四）、华景总经理古震维（左二）主持揭牌仪式。图／北科大提供

台北科技大学携手益升系统科技、华景电通，成立北科大半导体厂务暨制程设备研发中心，4月13日举行揭牌成立仪式；北科大整合三方研发能量，聚焦先进半导体制程厂务，及设备相关研发成果与专利技转，强化人才培育并促进技术研发。

北科大副校长杨重光表示，北科大拥有世界级半导体业的开放式研究环境，相关产学合作计划金额达上千万元，半导体创新技术研发成果丰硕。期待此次和益升系统科技、华景电通共同合作，透过中心的设备与研发能量，辅佐技术升级发展，促进产业群聚效应。

北科大去年也与阳明交大签订学术合作协议，以北科大专精的机械、材料等制程及设备技术，结合阳明交大与半导体业界的联合开发经验，共同提升双方的研究创新能力。

半导体厂务与设备中心主任由北科大能源与冷冻空调工程系特聘教授胡石政担任，胡石政研究专长涵盖半导体制造设备及环境，合作教授施阳正，专研气流模拟分析在冷冻空调的应用、计算流体力学的工程应用、热舒适度与热流应用研究、能源科技等相关技术。

益升系统科技主要的业务为大型空调系统、医用无菌室、电子业高科技无尘室及相关机电、制程管线的规划、设计及建造，尤以节能为特长，最佳化设计高效能低成本的空调系统。

华景电通主要产品为「晶圆制程气态污染物（AMC）防治设备」，用于半导体高阶制程环境控制及高洁净度要求的解决方案。在制程中，环境的AMC会影响晶圆的良率，随着晶圆线径越小，AMC对良率影响越大。洁净的环境能有效提高晶圆良率，降低AMC对晶圆产生的危害，提高生产效率。