创控科技发表 次世代AMC微污染量测技术应用

创控团队持续与先进制程厂商齐步同行,导入AI技术突破创新,发展「无人搬运车(AGV)」与「Smart FOUP」两大应用平台,并于SEMICON Taiwan的创新技术发表会TechXPOT舞台,首次对外发表「次世代AMC微污染量测技术应用」。

创控科技的MiTAP系列产品提供Lab-to-Fab气体分子污染物(AMC)监测方案,凭借「特定多项目标化合物分析」、「现地即时检测」等技术,侦测极限达到大型实验室标准等级,创造出兼具移动性、即时性、高频率监测分析。随着半导体制程持续微缩,微污染监测指示会越趋严格及多元,创控科技的监测方案,将协助客户创造产品竞争优势与价值,并能符合国际环保法规。