《兴柜股》SEMICON TAIWAN揭幕 创控秀微污染量测实力

创控此次参与SEMICON TAIWAN 2023国际半导体展，除导入AI技术突破创新，展示「无人搬运车」（AGV）与「Smart FOUP」两大应用平台，亦将在创新技术发表会TechXPOT舞台中，首次对外发表「次世代AMC微污染量测技术应用」。

随着半导体制程持续演进、晶圆线宽续降，受气体分子沉积影响就越明显，使微污染监控日显重要，监测指示越趋严格及多元。创控身为悬浮气体污染物（AMC）及挥发性有机气体（VOCs）监控领导厂商，对此持续与先进制程厂商齐步同行。

创控表示，MiTAP产品借由客制化且24小时连续检测，已可满足各大半导体厂商的各种需求。为更精准掌握每个制程的洁净度变化，公司进一步结合无人搬运车平台，运用AI技术让智慧巡检机器人能跟随制程移动，做到现地一条龙检测，有效掌握制程环境变化。

至于Smart FOUP平台则是将分析设备结合自动化物料搬送系统（AMHS），检测晶圆每个移动路径，包括气体洁净度（TVOCs）、温度、湿度、震动等晶圆须注意的环境条件，协助客户创造产品竞争优势与价值，并能符合国际环保法规。

创控表示，MiTAP系列产品提供从实验室到晶圆厂的AMC监测方案，凭借「特定多项目标化合物分析」、「现地即时检测」等技术，侦测极限达大型实验室标准等级，创造兼具移动性、即时性、高频率的监测分析。