《科技》SEMICON Taiwan国际半导体展 资腾科技秀六大亮点

资腾科技今年秀六大亮点：

一、臭氧水产生器Ozone Generator：提供晶圆制造过程中，用于晶圆清洗之臭氧水产生设备。UVC-LED式臭氧浓度计，无传统以汞灯为量测灯源之汞污染风险，并可有效减少RCA制程的药剂使用量，能控制并改善环境污染，符合现行ESG趋势。

二、挥发性有机气体回收装置Volatile Organic Compound Gas Recovery Device：日本大厂Morikawa曾荣获日本东京都产业技术大奖等多项指标奖项，并获得日本环境省「VOC处理技术领域实证样板事业」认定。针对各领域中的VOC溶剂气体进行液化回收，在减少环境危害的同时降低溶剂购买成本，溶剂回收品质达99.9%，几乎没有液劣化，可重复再利用。此次双方的合作，结合了资腾在半导体领域的产业知识，与Morikawa在回收装置的技术专长，为半导体制程中提供全新的解决方案。

三、智能清洁液Intelligent Fluids：来自德国的intelligent fluids GmbH提供一种全新的清洁液体概念，借由创新开发的独有配方达到去污、去胶、去光阻等效果。pH值介于5.5~6.5之间，对人体无直接性伤害，无毒且环保，产品萃取于自然界物质，亦可于一般废水中排放，被分解于自然环境中，降低环境负担。

四、涡旋型非接触式吸笔Non Contact Vortex Wand：利用伯努利原理吸取薄片晶圆防止表面刮伤并降低晶圆破损的风险，将大大地提高晶圆传送的效率和稳定性。

五、随机性微影图案误差解决方案Fractilia Inverse Linescan Model(FILM)：先进半导体制造的随机性微影图案误差量测与控制解决方案，可以有效提高先进制程生产良率。

六、Magnescale雷射尺与校正平台：BL50H雷射尺，结合了高解析度和高速度的控制磁栅尺。不仅适用于倾斜工作台控制，实现皮米(pm)级的精细控制，亦可作为倾斜工作台的高解析度倾斜控制传感器，为半导体制程提供更大的灵活性和精准度。