资腾科技优化半导体制程产品Semicon China 2024亮相

超洁净金属气体过滤器。图／佳世达提供

佳世达集团罗升企业旗下资腾科技参加Semicon China 2024展览，展示多项协助优化半导体制程的创新产品，如超洁净金属气体过滤器、超高精度光阻涂布泵等。

资腾科技总经理陈国荣表示，因应全球ESG、第三代半导体等趋势需求，今年资腾科技将展示一系列针对半导体制造行业的创新产品，旨在提高制程效率、减少环境负荷，并支援产业的永续发展。

超洁净金属气体过滤器是次世代奈米工厂必备，金属烧结微米级不锈钢（SUS 316L）短纤维制成薄层金属膜过滤器，皱褶状设计增加过滤面积。Load lock chamber排气过滤而设，缩短排气时间，提高机台5～8％的稼动率。

超高精度光阻涂布泵适用于半导体黄光制程光阻涂布，以及其他需要精准控制药液喷吐量的应用场景，几乎零药液浪费，可与半导体设备(如SVG、DNS、TEL、SUSSTECH、EVG等)匹配使用。提供气缸式和马达式控制，稳定性高且寿命长，资腾提供在地即时服务支援。

非接触型涡漩式吸笔是资腾自主研发，利用伯努利原理吸取薄片晶圆或是光学元件，避免晶圆或是光学元件表面刮伤，提高晶圆传送效率和稳定性。具有客制化和价格优势，目前已有SiC与光学元件厂客户销售实绩。

资腾充分考量中国市场特性和全球趋势，针对ESG、第三代半导体、新建晶圆厂、设备等领域提出不同的解决方案。