资腾科技助力半导体良率提升

资腾EcoDesign臭氧水产生设备适用于半导体、FPD等制造过程中的精密清洗应用之臭氧水设备。图／资腾提供

佳世达集团罗升旗下资腾科技将参加「2024 SEMICON Taiwan国际半导体展」，偕同欧美日及在地合作伙伴展出。此次展会将聚焦于运用随机性误差量测工具在先进制程与EUV应用，以及VOC回收产品，可应用于AI伺服器散热之双相浸润式冷冻液回收，助力客户达成环境永续目标。

Fractilia FAME 300专为量产晶圆厂设计，能即时测量和监控先进节点微影图案化误差中的随机效应（stochastic），其全新FAME OPC套件，能自动化测量多种随机效应并缩短运算时间，提升微影图案化中的OPC建模精准度，对High-NA EUV制程精度具关键影响。可用于所有SEM工具、High-NA EUV与OPC资料串流，帮助先进半导体提高良率、降低制程风险，实现高效稳定生产。

本次展出产品包括来自德国的Intelligent Fluids的物理性去光阻技术、EcoDesign的Metal Free臭氧水产生设备、Prognosis普格诺斯科技的智能振动感测器、FlowVIEW邑流科技的湿制程微污染监控解决方案、AI Particle Imager影像检测仪，日本大厂Morikawa和德国新创公司CNM Technologies的合作，主要实绩为面板厂、自动化设备厂与半导体客户。

来自德国的创新清洁液体Intelligent Fluids GmbH，具备去污、去胶和去光阻等效果，pH值介于5.5～6.5之间，对人体无直接性伤害，无毒且环保，并能在自然环境中分解。可取代NMP等有毒溶剂，帮助客户实现更安全、可持续的生产过程。

EcoDesign臭氧水产生设备，专利设计的石英三重管及涡旋式臭氧溶解技术，可提供无金属微粒、稳定且高浓度的臭氧水，在晶圆清洗过程中，可降低RCA制程的药剂使用量，同时维持高品质的制程控制，在矽基半导体与碳化矽半导体制程中获得广泛采用，达成更永续制造目标。

Prognosis智能振动感测器是高精度工业级MEMS振动感测器，具备防爆、耐腐蚀、宽温等各种规格，结合AI设备故障预诊软体，提供符合半导体厂自动化监控的解决方案。确保设备始终以最佳状态运行，不仅降低产能损失和维修成本，同时实现节能减碳目标。

FlowVIEW湿制程微污染监控解决方案，包括临场电子显微镜观测，突破固态样品限制，能在30秒内完成封装并观测到7nm微粒子。多通道液体粒子检测系统整合至产线，能24小时监控数据与预警。AI Particle Imager利用影像检测和AI分析，快速处理湿制程中的粒子和气泡，生成自动化图像报表，监控制程品质，降低污染风险与设备成本提升良率。

Morikawa VOCs处理技术获日本产业技术大奖，该技术针对各领域中的VOCs溶剂气体进行液化回收，减少环境危害的同时降低溶剂购买成本。

CNM Technologies 碳奈米膜材料，具有极微小孔隙及大通量的物理特性，可应用于半导体超高纯水过滤、精水处理等。于电池和燃料电池应用，实验证明可增加锂电池的2倍寿命，达到增强能源储存设备的可靠性和效能，提高半导体和精水处理过程中的过滤效率。

透过与和淞科技、韶扬科技、友达数位、邑流科技、普格诺斯科技、其阳科技、帝毕仕等多家知名厂商的紧密合作，为客户提供精确应对先进制程和 EUV 应用挑战的解决方案，帮助客户提升制程良率、降低生产风险。