《产业》衡升科技参展SEMICON TAIWAN 秀奈米探针实力

成立于2006年的衡升科技主要从事奈米探针（Nano Probing）、故障分析检测服务、代理机台整合销售等业务。董事长暨创办人黄信豪专研物理及材料领域，鉴于半导体先进制程发展演进趋势，自2008年积极投入奈米探针研究、开发和制造，公司具相当程度的技术领先。

衡升科技2013年起提供当时最新进的10奈米用于14奈米制程故障分析使用，目前2～5奈米探针已获客户大量采用。去年成功开发多款1奈米以下的7埃米、5埃米等级探针，可针对未来进入制程量产的晶片进行故障分析，改善制程良率。

衡升科技表示，奈米探针会在新制程量产前的2～4年开始被大量应用。依据摩尔定律及半导体发展蓝图，当半导体制程精进至65奈米以下时，晶片电性数据的量测和分析将变得更困难，奈米探针的重要性将显著提升。

随着先进制程发展演进，2025年将迈入2奈米制程、并全面改为环绕闸极（GAA）架构，使故障分析难度将大幅提升，GAA架构下生产良率提升及维持是晶圆代工厂的首要任务，预计将驱使制程产生大量分析需求，奈米碳针的应用将可能从实验室转进制程中。

衡升科技利用本身故障分析量测技术，整合德国制造工艺，建置自有品牌「Nano e」，并搭配自家奈米探针，持续协助客户在先进制程开发的推进与突破。目前已是全球奈米探针的领导厂商，主要客户涵盖全球前三大半导体厂，专业技术深受客户肯定。