台积电砸300亿元入股ASML 冲先进制程
▲台积电宣布斥资超过400亿元取得ASML5%股权，冲刺18吋先进制程。(图／台积电提供)
台积电积极卡位18吋先进制程，5日宣布以8.38亿欧元(折合台币311亿元)取得荷兰艾司摩尔(ASML)5%股权，并承诺未来五年共投入2.76亿欧元(折合台币102亿元)支持ASML的研发计划，总计投资规模超过台币400亿元。
台积电宣布加入ASML「客户联合投资专案」(Customer Co-Investment Program)，希望加速下一世代关键半导体制造技术—极紫外光(EUV)微影技术与450mm(18吋)晶圆微影设备的开发及量产。
根据该协议，台积电将投资ASML 8.38亿欧元以取得该公司5%股权，同时并承诺未来五年共投入2.76亿欧元支持ASML的研发计划。
台积电执行副总经理暨共同营运长蒋尚义博士表示，缩小积体电路尺寸(IC scaling)目前所面临的最大挑战之一，在于如何有效控制日益攀升的晶圆制造成本。台积电相信挹注ASML研发经费将确保并加快EUV微影技术的开发，同时也能提高既有光学微影工具的效能，促进450mm晶圆制造技术的快速发展。这项努力将有助半导体产业控制晶圆成本，保障摩尔定律持续演进可带来的经济效益。
ASML执行长Eric Meurice指出，欢迎台积电加入ASML今年7月9日公布的『客户联合投资专案』，其目的是为了让关键微影技术的发展顺利且加速进行。这些技术不仅将使ASML的投资伙伴受益，整个半导体产业也得以受惠。