台积EUV大举拉货 供应链乐

图／本报资料照片

台积电台湾先进制程工厂进度

台积电2奈米先进制程产能将于2025年量产，设备厂正如火如荼交机，尤以先进制程所用之EUV（极紫外光曝光机）至为关键，今明两年共将交付超过60台EUV，总投资金额上看超过4,000亿元。在产能持续扩充之下，ASML2025年交付数量成长将超过3成，台厂供应链沾光，其中家登积极与ASML携手投入次世代High-NA EUV研发，另外帆宣、意德士、公准、京鼎及翔名等有望同步受惠。

设备业者透露，EUV机台供应吃紧，交期长达16至20个月，因此2024年订单大部分会于后年开始交付；据法人估计，今年台积电EUV订单达30台、明年35台，不过会因为资本支出进行微幅调整。而除了研发中心之外，High-NA EUV明后年尚无量产设备规划。

ASML因应客户需求，于去年规划新产能，明年交付数量成长性明确。今年预估总交付数量达53台，而明年预计达到72台以上。

供应链指出，ASML对2025年度产能规划，EUV 90台、DUV 600台、High-NA EUV 20台目标并未改变，今年11月14将举行2024 Investor Day，将对下个五年提出最新蓝图。

台积电先进制程产能逐渐开出，以3奈米台南厂来说，第三季将进入量产，明年P8厂也会有EUV机台陆续导入，新竹宝山2奈米在接续三年EUV拉货动能强劲、高雄2奈米也同步进行。

供应链同时透露，台积美国P1A工程追加款项有望第三季到位，且该厂区已进入建设尾声，加上台积在国内外其余厂区建设需求，如新竹宝山、日本熊本、高雄楠梓及封测厂等、CSP资料中心建置需求，设备需求不看淡。

更多的EUV机台，带动EUV光罩盒使用量同步成长，法人认为，家登将为其中最受惠业者，FOUP（前开式晶圆传送盒）持续抢攻市占率，相较竞争对手，家登自建热风抽气环境，将塑胶粒或是污染粒子排除，直接送至客户厂区即可上机；同时，ASML High-NA EUV家登也投入合作研发。

生产环境比造大厂无尘室打造，家登有信心提供客户更佳产品品质及服务，伴随后下半年产能持续开出，明年将逐步赶上客户需求，带动营运成长。