台积机台租赁 推动光阻在地化

台积电评估，今年第四季建立「机台租赁平台」，活化厂内不同类型机台再利用价值，提供有需求的供应商使用。

台积电供应商去年成功设立全台第一座极紫外光（EUV）光阻生产工厂，截至今年4月，已产出超过千瓶EUV光阻剂，创造逾1亿元商业价值，年产值更超过10亿元，同时达到台积电资产活化再利用效益，落实产业共好。

台积电资讯技术及资材暨风险管理资深副总林锦坤表示，原物料供应商是台积电永续经营的重要伙伴，台积电透过创新的商业模式，开创光阻供应链在地化，共同打造台湾第一座EUV光阻工厂。

光阻是半导体微影制程的重要材料，因验证其品质的曝光机台售价与保养费用高昂，使光阻供应商来台设厂进度难以推进。为解决光阻供应商投资成本过高问题，同时促进在地供应链发展，台积电资材供应链管理处携手营运资源规划处、Fab 12A厂，依产能需求全面盘点厂内机台资源，将曝光机台出租予光阻供应商，使其无须额外购买机台验证光阻品质。

台积电于2020年成功邀请光阻供应商来台设厂，生产周期由28天缩短为17天，减少18％空运碳排放量，光阻在地化生产年产值更逾10亿元，增加在地工作机会50人，有效降低进口供料风险与成本支出。