先进制程猛吃电 晶圆厂大数据节能

台湾供应链近几年将大吃AI红利，但AI应用相当耗电，成为一大难题。此为示意图。（路透）

辉达引领下，全球展开AI应用的强烈需求，预期台湾供应链近几年将大吃AI红利，但AI应用除了前后端耗电，在生产晶片时也需要庞大电力，甚至是绿电，尤其是先进制程需要半导体厂的EUV曝光机，让相关供应链开始推动节电计划。

2024年全球都在疯AI，不过产业专家透露，目前在相关供应链的生产端并没有太新的技术可以省电，企业都是透过各自的办法去节电，或者扩增再生能源，以降低用电以及增加绿电比例。

其中联电建立大量的数据收集感测器，透过工业4.0的大数据监控，即时掌控各厂、各设备的能耗，透过调整测试设备的运转模式，降低用电，并评估是否加装节能元件，并汰换掉耗能的设备。

此外，也会持续检讨能耗的数据，进一步挖掘节能潜力，期望以生产效率极大化、环境冲击极小化的绿色营运模式，在2025年挑战节电15％、节水15％、减少废弃物25％的目标。

晶圆代工大厂台积电，同样是台湾最大的用电户，在2022年的永续报告书自行揭露电力消耗约210亿度，占全台电力消费约7.5％，由于先进制程7nm以下需要使用EUV曝光设备，1台曝光机均日消耗约3万度电，主要是EUV光源能源转换效率极低，转换率仅0.02％，若要生产先进制程晶片，耗电就成了必要之恶。

台积电也持续在节能措施着手，依制程技术定义5大节能团队，全面推动生产机台以及厂务设备的各项节能措施，并透过大数据分析持续优化EUV机台参数，降低每片晶圆所需用电量，同时与供应商合作研究，挖掘EUV节能的可能性，在2022年成功降低EUV生产每片晶圆耗电量的22％，年省6000万度电，在2022年节省了7亿度电。

台积电在2018年启动的新世代机台节能行动专案，截至2022年累计有195项节能方案应用在超过百种先进制程机台，结合跨厂导入节能措施，预期从2016年至2030年，新增的节能措施累计节能率将达到18％。