18吋晶圆14奈米研发人员 进驻台大竹北分部校区

地方中心新竹报导

台大土木系「科技厂房设施研究中心」研发人员将于5月中旬进驻竹北分部校区台湾半导体产业及相关产业,预期将在3至5年内进入18吋(450mm)晶圆之量产及14奈米之制程。这种具前瞻性的大幅发展,不但将提升台湾在国际间的竞争力,促使台湾其他产业技术升级增益台湾地区经济成长,同时,也将使台湾拥有更卓越领先的国际科技地位,甚至成为许多国家仿效的基准楷模

由于厂房设施的设计建造,也是半导体晶圆制造不可或缺的先决条件之一,为了从厂房设施的角度,协助台湾半导体产业及相关产业提升到18吋晶圆之量产及14奈米之制程,台湾大学土木系「高科技厂房设施研究中心」,特在台大竹北分部成立18吋晶圆14奈米研发团队。首批研发人员将于5月中旬进驻,展开研发实验工作

进驻之18吋晶圆14奈米研发人员,将针对空气分子污染(Airborne Molecular Contamination,AMC)、微振动(Microvibration) 、电磁波干扰(Electro-Magnetic Interference, EMI)、绿厂房(Green Fab)、厂房资讯模型及模拟(Fab Information Modeling, FIM)等等先进关键技术深入研究探讨。

台大竹北分部的18吋晶圆14奈米研发团队系跨领域的组合,成员将包括来自机械、土木、电机、环工、化工工业工程化学物理材料生物药剂等等不同院系教授学者专家及博硕士研究生。这个研发团队将由台大土木系张陆满教授(如下图,翻摄自台大土木系网页)负责整合协调。

张陆满教授系新竹湖口张六宗族子孙。在1974到1977年间服务于工研院,曾负责工研院头重埔中兴院区规划监造,并是当年第一批被工研院派赴美国RCA公司取经的30多位人士之一,吸取建厂经验后,返回协助电子研究中心设计建造台湾第一座积体电路示范工厂。尔后,张教授即赴美深造,并曾先后在美国佛罗里达大学的建筑学院营建系任教2年半及普渡大学土木工程系营建工程管理组任教23年。